华海清科12英寸减薄抛光一体机出机量突破20台
华海清科在自主创新道路上的坚实步伐,迎来了令人瞩目的里程碑。近日,其官方消息透露,公司自主研发的12英寸减薄抛光一体机Versatile-GP300的累计出机量已经成功突破20台。这一成就不仅彰显了该装备卓越的技术性能与稳定的量产能力,更反映了市场对这一国产高端半导体装备的广泛认可。

回溯华海清科的发展历程,可以看到其坚持自主创新、攻克关键工艺的坚定决心。自2021年首台装备成功发往客户端以来,公司不断取得突破,其创新的减薄抛光一体机更是将磨削减薄、化学机械抛光(CMP)与清洗模块巧妙地一体化集成,实现了从装备结构、控制系统到工艺集成的全方位创新。这一颠覆性的设计不仅提升了减薄精度与工艺稳定性,更解决了复杂翘曲形态晶圆传输系统、跨洁净度等级清洗等一系列技术难题,赢得了行业的高度关注与权威认可。
华海清科的这一创新成果也得到了市场的高度认可。Versatile-GP300产品自面世以来,已荣获多项殊荣,今年更是斩获好设计金奖,其行业价值与贡献得到了充分的肯定。更重要的是,该装备已在客户端产线稳定运行,累计出货晶圆超20万片,其性能表现优异,已获得多家头部企业的重复订单。此次累计出机突破20台,进一步彰显了华海清科在半导体高端装备领域的领先地位,是客户信赖与市场选择的直接体现。
面对未来,华海清科表示将继续深耕“装备+服务”平台化发展战略。公司已建立起覆盖化学机械抛光(CMP)、离子注入、减薄、划切、边缘抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务等高端半导体装备与服务的多元化产品矩阵。华海清科将始终坚持“自强成就卓越,创新塑造未来”的企业精神,以市场需求为导向,持续加大研发投入,致力于为半导体产业提供更多先进的高端装备与工艺成套解决方案。
华海清科的这一跃升,不仅是公司自身发展的一个重要节点,更是国产半导体产业迈向高端、实现自主创新的一个重要标志。让我们共同期待华海清科在半导体产业中继续发光发热,为产业的繁荣发展做出更大的贡献!